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空氣分子污染物監測系統
概述：
空氣分子污染物(AMC)對于高科技生產過程是關鍵性因素，特別是微電子行業，有機污染物是生產過程中的消極因素，會導致高科技公司因產品質量問題而產生的成本增加。
無空氣分子污染物生產是理想的生產目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統來實現，持久監測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩定生產、預防過濾器突發性壽命減少等。
阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個實時快捷持續的在線空氣分子污染物AMC監測方案，不需要采樣，離線測量。
空氣分子污染物監測系統
檢測限達到sub-ppb級
潔凈室環境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產生、管路泄露、設備維護修理時散發等，外部來自環境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。
一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果，比如晶圓廢棄、停產、重新凈化潔凈室等。
可測組份
2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH | (t-乙酸丁脂)二羥基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH |
2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH | 六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3 |
異丙醇(CH3 ) 2CHOH | 二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH |
乙醇胺 H2NCH2CH2OH | 鄰苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2 |
環己胺C6H11NH2 | 鄰苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2 |
環聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n | 鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2 |
對二氯苯CIC6H4CL | 三乙胺(C2H5 ) 3N |
鄰苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2 | 鄰苯二甲酸二環己酯C6H4(C=OOC6H11)2 |
鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2 | 磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0 |
十甲基環五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5 | 十二甲基環五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6 |
二甲苯(CH3)2C6H4 | 三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0 |
三甲基硅醇C3H10OSi | ...... |
空氣分子污染物監測系統
亮點
一般特點：
在線連續質量監測全部自動化系統
低濃度VOC監測
獨立分開測量有機物成份
Sub-ppb檢測限
集成計算機和控制軟件以及數據采集與處理功能
應用
潔凈間污染物監測
過濾器狀態監測
加工過程全組份測量診斷污染物
下一產品：獵戶座 3100S空氣分子污染物監測系統
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